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第85章 焦了（第1页）

沈听澜把曝光剂量设错这件事，发生在开学第三周的周三下午。

那天微纳加工平台的人特别多。隔壁课题组一个博士生带着三个硕士生在排队，走廊里站了一串。沈听澜和周予安分到的机时是下午一点到三点，时间卡得很死，到点就得交设备。

她有点急。

不是周予安催她，是后面那个博士生每隔几分钟就从玻璃窗往里看一眼。口罩上面那双眼睛写满了“你们快点”。

沈听澜把基底放上样品台，在触摸屏上设置曝光参数。紫外曝光，剂量那一栏她多输了一个零。

周予安在旁边检查掩模版对准，没看屏幕。

她按下确认键的时候，手指顿了一下。总觉得哪里不太对，但后面那个博士生又往窗户里看了一眼。

她就把键按下去了。

曝光完成。她把基底取出来放进显影液。

透明的液体里，光刻胶没有像往常一样从图案边缘开始溶解。

整片胶面纹丝不动。

她又等了一会儿，用镊子夹住基底边缘轻轻晃动。胶面还是不动。

她把基底夹出来对着灯光一看。

叉指电极的图案没有出现。光刻胶被烤成了一层焦黄色，硬邦邦地覆在薄膜表面，像一层烤过头的焦糖。

她用镊子尖刮了一下。

刮不动。

李辉正好推门进来。他看了一眼沈听澜手里的基底，又看了一眼她脸上的表情。

“这颜色挺好看。”

他凑近了些，把镊子接过去敲了敲那层焦黄的表层，发出极细微的笃笃声。

“跟烤鸭皮似的。你拿紫外光烤的？”

沈听澜没说话。她把曝光参数从设备记录里调出来，盯着剂量那一栏多出来的那个零。

手指在触摸屏边上停了一瞬。

周予安走过来，把那片报废的基底从镊子上取下来，对着灯光看了看。焦黄色的硬壳在光线下透出一种接近琥珀的质感，叉指电极的掩模图案其实印上去了，但光刻胶碳化得太厉害，边缘糊成了一片。

“留着。”他说。

沈听澜看着他。

他从样品柜里拿出一个透明样品盒，把那片焦黄的基底放进去，盖好盖子。又从笔筒里抽出一支记号笔，在标签上写字。

字迹瘦的，锋利的。

“三月十二日，曝光剂量错误，焦了。留存。”

他把样品盒放在样品柜最上层，和那批成功的电极图案并排。

“留这个干什么。”沈听澜问。

周予安把笔套盖回去。

“留给你下学期看的。等你做熟了，回头看看这个，就知道自己走了多远。”

沈听澜看着那个样品盒。焦黄色的基底隔着透明塑料，边缘糊掉的叉指电极像一幅没印好的版画。

她忽然想起高中时周予安收着她的那些草稿纸。第一版升温曲线画错了，他收着。申报书提纲撕了两版，他收着。耗材清单上被她划掉又重写的MEMS问号，他也收着。

他一直在做同一件事。

把她所有的不完美都保存下来，然后在未来某个时刻，拿给她看。

看，你从这里走到了这里。

后面那个博士生又在窗户外面晃了一下。沈听澜把样品柜关上，重新取出一片新的基底。

“再来。”

第二片做得很顺。匀胶，前烘，对准，曝光，显影。叉指电极的图案干净利落地转移到薄膜表面，边缘清晰，线宽均匀。

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