路人书

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第84章 开工第一天（第2页）

“穿吧。超净间，进去要换。”

沈听澜接过来。防尘服的布料滑滑的，带着一点消毒水的气味。她把外套脱了，套上连体服，拉链从腰拉到领口，头套戴上，口罩戴上，鞋套套好。穿戴整齐之后她看了看周予安。他也穿好了，白色的连体服，白色的口罩，只露出一双眼睛。那双眼睛和高中坐在她前排时一模一样，不闪不躲，在等着。

“走吧。”他说，声音从口罩后面传出来，闷闷的。

三号光刻机是一台比人还高的设备。银灰色的外壳，正面是一块触摸屏，侧面连着气路和真空管路，背后是黄色的排风管道。李辉已经在里面了，同样穿着连体防尘服，正弯腰检查匀胶机的吸盘。看见他们进来，他直起身招了招手。

“来了？过来看看这个。”他指了指匀胶机旁边的培养皿。皿底躺着一小片玻璃基底，表面覆着那层深灰偏黑的MXene和MOF复合薄膜。寒假前最后一批敏感材料，她亲手配的溶液，亲手开的釜。

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“今天的活，”李辉把一张手写的工艺流程图推过来，“把这层薄膜涂上光刻胶，前烘，对准曝光，显影。把电极图案转移到薄膜上。”

沈听澜看着那张流程图。匀胶，前烘，曝光，显影。每一步旁边标注着参数——转速、时间、温度、曝光剂量。字迹是李辉的，但参数的笔迹是周予安的。瘦的，锋利的，每一个数字都写得清清楚楚。她想起寒假前他提前来踩点，大概就是那时候把这些参数一个一个记下来的。

“谁先来。”李辉问。

沈听澜伸出手。“我。”

她把培养皿放进匀胶机的吸盘里，按了吸附键，基底被稳稳吸住。光刻胶是透明的，黏稠的，她用移液枪吸取定量，滴在基底中央。合上盖子，设置转速——先低速铺开，再高速甩薄。

按下启动。匀胶机嗡嗡地转起来，培养皿在吸盘上高速旋转，光刻胶从中心向边缘铺开，在薄膜表面形成一层极薄的透明涂层。声音从隔音罩里传出来，闷闷的，像一只蜜蜂被关在玻璃瓶里。转速降下来，停稳。

她把培养皿取出来，胶面均匀，没有条纹，没有气泡。周予安在旁边看了一眼，点了一下头。

接下来是前烘。她把基底放进烘箱，温度一百度，时间九十秒。烘箱的显示屏上数字开始跳动，从室温一点一点往上爬。她站在那里看着那个数字，和第一次跑升温曲线时看着管式炉的显示屏一模一样。九十秒到了。烘箱发出轻轻的一声“滴”。她把基底取出来，胶面从透明变成了浅浅的琥珀色，凑近了能闻到一股极淡的溶剂味。

光刻机已经预热好了。周予安把掩模版装进光路里——那是一小块石英玻璃，上面用铬层刻着电极图案，叉指状的，像两只手的手指交叉在一起。他在触摸屏上设好曝光剂量，转过身看着她。

“放上去吧。”

沈听澜把基底放进光刻机的样品台上，对准掩模版的位置。显微镜的视野里，掩模版的图案和基底表面的薄膜重叠在一起，边缘对齐。

她旋动微调旋钮，左一点，右一点，图案稳稳落进预定区域。锁紧样品台。按下曝光键。紫外光从掩模版上方照射下来，穿过透明的石英，穿过铬层镂空的图案，打在光刻胶上。被光照到的部分发生化学反应，变成可溶于显影液的状态。光刻机的快门发出一声极轻的咔嗒。曝光完成。

她把基底取出来放进显影液里。透明的液体里，被曝光的光刻胶开始溶解，极缓慢地，从图案的边缘向中心蚕食。她用镊子夹住基底边缘轻轻晃动，溶解的部分像细小的云絮从胶面上剥离，在显影液里散开。

时间到，她把基底夹出来放进定影液里，光刻胶的溶解停了，被曝光的区域完全去除，露出下面深灰偏黑的薄膜。没被曝光的区域保留着琥珀色的光刻胶，把薄膜保护在下面。叉指电极的图案完整地转移到了薄膜表面。

李辉凑过来，隔着显微镜看了一眼。然后他直起身，口罩上面那双眼睛弯了起来。

“成了。第一次光刻，图案完整，边缘清晰。”他把手套脱下来，在沈听澜肩膀上拍了一下，“你们俩，天生就是干这个的。”

沈听澜把基底放进培养皿里盖好。叉指电极在薄膜表面安静地亮着，深灰色的敏感材料，琥珀色的光刻胶保护层，银灰色的电极图案。

她看着那片比指甲盖还小的玻璃片，忽然想起高考完那天在三中考场走廊里，纷纷扬扬的纸雪从楼上飘下来，落在香樟树冠上，落在水磨石地板上。那时候她以为“结束”是一种很巨大的东西。现在她知道，结束不是。开始才是。

走出微纳加工平台的时候，外面的天已经暗了。法桐树光秃秃的枝丫在晚风里轻轻摇晃，树根底下那圈苔藓在路灯的光里绿得发亮。

“饿了。”她说。

“食堂还有麻辣香锅。”

“去。”

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